在工业生产中，向设备中通入惰性气体，防止设备内可燃气体或粉尘发生爆炸的技术称为惰化工艺。该技术常用于反应釜、煤化工、冶金、电力、水泥、石油化工、制药等行业中。惰化是本质安全化防爆技术措施之一。根据《工贸行业可燃性粉尘作业场所工艺设施防爆技术指南（试行）》规定，当被输送的金属粉浓度接近或达到爆炸浓度下限时，必须采用氮气等惰性气体作为输送载体，且必须使用氧含量分析仪连续监控管道中的氧浓度。

惰化系统一般由惰性气体供给装置、氧含量分析系统、监测控制组件、供气管道组成。其中，氧含量分析仪应能准确的测量惰化后的氧气浓度，控制组件才能在氧浓度达到动作氧浓度时，自动或手动启动供气装置进行惰化保护。

上述所提到的惰化工艺专用氧含量分析仪采用的可调谐半导体激光光谱吸收技术（TDLAS）技术，是目前氧浓度测量的方法之一，该仪表精度高、响应速度快、不受背景气体干扰、不受粉尘干扰、非接触式测量等特点，为实时准确反映氧浓度变化提供了科学可靠的参考数据。

综上所述，惰化工艺防爆的实质就是通过使用氧含量分析仪对设备内部环境进行检测，根据测量数据判断是否通入惰性气体，以此控制氧气含量，降低反应热和放热速率，让设备中的混合物不能形成爆炸性环境，或是增加混合物点燃难度。根据设备中的氧浓度控制程度，可分为部分惰化和完全惰化。其中，完全惰化是设备中惰性气体的浓度比例足够高，无论可燃物与含氧混合气体的比例发生变化都不会形成爆炸性环境，归根结底就是要控制设备中的氧气浓度不高于JI限氧浓度值。